Prantsusmaa – Mikroelektroonilised masinad ja aparaadid – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

CEA-LETI soovib oma uurimistegevustes, mis on suunatud FD-SOI 10 nm ja selle järel tulevate tehnoloogiate arendamisele, osta 300 mm mehano-kee-mikro poliirimisvahend. Vahend peab olema võimeline poliirima metallfilme nagu vask või volfram ning barjäärmaterjale nagu tantaal või titaan. Vahend peab samuti olema võimeline poliirima läbipaistvaid plaate. See peab olema varustatud nelja laua ja kahe puhastusega, et saaks 2 protsessi paralleelselt töötada. See peab olema varustatud viimase põlvkonna poliirimiskepade ja lõpppunkti süsteemidega, mis võimaldavad automaatselt poliirimisprofiili reguleerimist. Töövahend peab hiljem integreerima in-situ metrologiamooduli. Selles lepingus on järgmine kohustuslik valik: - Valik nr 1: Garantiia pikendamine ühe aasta võrra. Selles lepingus on järgmine valikulised valikud: - Valik nr 2: Jäätmete tundurite varustus (§3.1 tehnilises spetsifikatsioonis), - Valik nr 3: Soojusvahetus/jahtja varustus (§3.2.6 tehnilises spetsifikatsioonis), - Valik nr 4: Elektrotransformaator varustus (§4.1.3 tehnilises spetsifikatsioonis), - Valik nr 5: Esmase taseme hoolduskoolitus (§9 tehnilises spetsifikatsioonis), - Valik nr 6: Täienduskoolitus hoolduses (§9 tehnilises spetsifikatsioonis), - Valik nr 7: Transportimise hind, mis sisaldab kindlustust, DAP CEA Grenoble tingimustel (Incoterms ICC 2020 leping).