Saksamaa – Mitmesugused üld- ja eriotstarbelised masinad – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Modulaarne, täielikult automaatne proovimissüsteem optilise inspekteerimiseks ja elektriühenduse loomiseks elektron-, fotoni- ja mikro-mehaaniliste seadmete jaoks, sealhulgas täiustatud tootmismeetodid nagu kvazimonoliitne integreerimine. Süsteem haldab 200 mm vaakumeid, raame, linte, lahtreid ja võrdsuse substraate. Lõpp-pealt kandjate haldussüsteem laadib kandjaid substraatidega spetsialiseerunud kassetidest, asetab need proovimissüsteemi vaakuhaakidele ja teostab täielikult automaatset joondamist. Testkaardi/proovikaardi liides on ette nähtud elektriühenduse jaoks. Proovide tuvastamine ja täpsem asetamine toimub automaatselt, et tagada taastuv ühendus. Kontrollprogramm toetab programmeeritavat järjestusjuhtimist ja viitpunktide põhjal joondamist. Optilise inspekteerimise jaoks pakub süsteem liikuva mehaanilise liidese, et vastu võtta modulaarsed, klientide poolt toodud optilised inspekteerimismoodulid (nt mikroskoop kaameraga) kõrval- ja vertikaalselt reguleeritavate.

Ruum proovimissüsteemi peal.