Prantsusmaa – Elektroonilised, elektromehaanilised ja elektrotehnilised tarvikud – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

CEA-LETI soovib oma uuringute raames, mis on suunatud FD-SOI 10 nm tehnoloogiate ja nende edasiarendamisele, osta 300 mm metalli PVD-deponeerimiseks mõeldud seade. Seade peab olema mitmekambriline ja sisaldama vähemalt 5 deponeerimiskambrit, vaakumtranspordipalati, eraldatud oksüdeerumiskambrit, eelpuhastus- ja degasamoodulit. Laadimispord peab võimaldama vähemalt 3 FOUP-i. Plaanitav leping sisaldab järgmist:

- Obligaatne valik: OPT1: Ühe aasta pikkuse garantii pikendamine (§11.1 tehnilise spetsifikatsiooni järgi)

- Vabatahtlikud valikud: OPT2: Soojusvahetus / jahutid (§3.2.6 tehnilise spetsifikatsiooni järgi) OPT3: Elektrienergialiideseadmed (§4.1.4 tehnilise spetsifikatsiooni järgi) OPT4: Esmase taseme hoolduskoolitus (§9 tehnilise spetsifikatsiooni järgi) OPT5: Täienduskoolitus hoolduse valdkonnas (§9 tehnilise spetsifikatsiooni järgi)