Prantsusmaa – Mikroelektroonilised masinad ja aparaadid – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

CEA LETI soovib oma uurimistegevuse ja partnerluse arendamiseks ostma optilise inspektsioonisüsteemi, mis on mõeldud struktureerimata waferitele ja mis suudab inspekteerida 100 mm, 150 mm ja 200 mm läbimõõtudega waferitega, mis on täpsusega. Valitud süsteem peab suutma inspekteerida erinevate materjalide ja paksuste substraate. Leping sisaldab ühele pakkumisele kohustusliku hindamise: - Valik 1: Ühe aasta lisagarantii, mis pikendab garantiid kokku kaheks aastaks. Leping sisaldab pakkumisele vabatahtlikku hindamist: - Valik 2: Elektri transformaator (artikkel 4.1.4 tehnilises spetsifikatsioonis) - Valik 3: Esmase taseme hoolduse koolitus inspektsioonisüsteemi jaoks, - Valik 4: Täiustatud hoolduse koolitus inspektsioonisüsteemi jaoks.