Prantsusmaa – Mikroelektroonilised masinad ja aparaadid – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

CEA-LETI soovib oma 10 nm ja selle järel SOI tehnoloogia arendamise raames osta täielikult automaatne aatomikihtide asetamise (ALD) seade. See seade peab peamiselt töötlema 300 mm plaatidega (või 200 mm plaatidega 200-300 mm toetuste abil). See on mõeldud metallide ja metallnitriidide asetamiseks mitte-ajutistele mälu ja täiustatud kontaktidele. See seade peab ka sisaldama puhastusvahendit, et parandada pinnakvaliteeti enne metallide ja metallnitriidide asetamist. Leping sisaldab ka järgmist kohustuslikku hinnakirja* : - Valik 1 – Täiendava hoolduskoolituse (Peatükk 9) Leping sisaldab ka järgmiseid valikulisi hinnakirju* : - Valik 2 – Soojusvahetid (Heat exchangers) ja jahutussüsteemid (chillers) (Jaos 3.2.6) - Valik 3 – Elektritransformaator (Power supply transformer) (Jaos 4.1.4) - Valik 4 – Täiendava hoolduskoolituse (Peatükk 9) - Valik 5 – Ennetav ja korrigeeriv hooldus ning vajalikud asendused (Jaos 12.2) - Valik 6 – Garantiiväljendus ühe aasta pikendamiseks - Transportimise hind, mis sisaldab kindlustust, tingimustel DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)