Belgia – Laboriseadmed, optika- ja täppisinstrumendid (v.a klaasid) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Selgitus

Tellija soovib ostetada kõrge kvaliteediga peenkihtide paigutussüsteemi edasijõudnud materjalide uuringute jaoks ERC rahastatud projekti THERMAGINE raames. Süsteemi kasutatakse magnetiliste metalli- ja oksüüdikihtide ning nanomeetriskaala paksusjuhtimisega mitmekihtsete pakkide paigutamiseks ja insenerindamiseks. Seade kasutatakse peamiselt magnetiliste (mitmekihtsete) peenkihtide ja nänomagnetiliste uuringute jaoks. Süsteem peab seega pakkuma kõrget paindlikkust, taastuvust, protsessi stabiilsust ja automaatsust. Tehnilised detailid vaata osast III

Lot 2 Selgitus

UGent puhastusruumi uurimistööde edendamiseks on vaja uut füüsilist aurupaigutussüsteemi (PVD), mis suudaks käsitleda substraate vähemalt 100 mm suurusega. PVD-süsteem jagatakse fotonite uurimisgrupi (PRG) ja vedelkristallide ja fotonite (LCP) uurimisgrupi vahel, et paigutada laia valiku (peamiselt) metalli või dielektrilisi peenkihti. Ülesandesse on kaasatud tööriista käivitamine ja paigaldamine, samuti kiirema näidiste laadimiseks laad-lukk ja väljaõpe seadme tootja poolt. 100 mm PVD peenkihtide paigutussüsteem, mis on varustatud nii e-gun aurustamise kui ka pihustamisallikatega ja laad-lukuga.

Lot 3 Selgitus

Esimese aasta kulutused Lot 2 jaoks. Lot 3 käsitleb ühekorraselt kulutuste ostu, mis on spetsiaalselt vajalikud PVD-süsteemi jaoks, mis on kirjeldatud Lot 2 all, ja kasutamiseks UGent puhastusruumis esimese tööaasta jooksul. Inventuur peab sisaldama vähemalt kulla pihustamisplaatidena, titaani pihustamisplaatidena, kulla e-gun aurustamiseks ja titaani e-gun aurustamiseks. Teised kulutused, mida kasutatakse väiksemates kogustes, nagu alumiinium, nikkel, plaatina, alumiiniumoksiid, krom ja sarnased materjalid, võivad pakutud valikuliste lisanditena, kuid ei ole kohustuslikud.