Hispaania – Mikroelektroonilised masinad ja aparaadid ning mikrosüsteemid – Suministro de sistema de grabado mediante haz iónico (Ion beam Etching - IBE)

Meeskond suunatakse Teadusliku ja Tehnilise Ülikoolide Väljakutse (ICTS) MICRONANOFABS, Hispaania mikro- ja nanofabrikatsioonisalade integraalse võrgustiku, mis on Hispaania Teadusministeeriumi ICTS kaardile lisatud, ja mille hulka kuuluvad Hispaania Nanofotonika Tehnoloogia Keskuse (NTC) Mikro- ja Nanofabrikatsiooni Infrastruktuur, Valencia Polütehnilise Ülikooli (UPV) ja Hispaania Kuningliku Teaduste Akadeemia (CSIC) Keskne Mikroelektroonika Keskus (CSIC) ning ISOMi (UPM) Tehnoloogia Keskus. Installaatsioon asetatakse NTC-UPV 8F hoone puhta ruumi. Nanofotonika Tehnoloogia Keskus arendab fotonseadmete, biosensoreid, integreeritud optika komponentide, kvantseadmete, mikroelektromehaaniliste süsteemide (MEMS), mikrofluudi struktuure ja nanofotonseadmete tootmisprotsesse erinevatel materjalidel, sealhulgas kreeksil, silitsiumnitriid, klaas, kvarts, III-V materjalid, dielektriku materjalid ja hübriidstruktuurid. NTC-UPV osutab, kui MICRONANOFABS-i integreeritud ICTS, mikro- ja nanofabrikatsiooni teenuseid rahvusvahelistele ja rahvusvahelistele uurimisrühmadele, ettevõtetele, konkurentsivõimeliste projektide, tehnoloogiaülekande lepingute ja täiendavate teenuste raames. See ühiskasutuse eriväljakutse nõuab, et instrumentaalvarustus oleks uuendatud, vastupidav ja vastav praegusele tehnoloogiale, mis võimaldaks vastata nii oma uurimislõngadele kui ka teadus- ja tööstusühiskonna väljale, vastavalt PERTE Chipi eesmärkidele, et tugevdada riigi mikroelektroonika- ja fotonika võimekusi. Paljud seadmed, mis toodetakse infrastruktuuris, nõuavad kõrge täpsusega füüsilisi graviiprotsesse materjalidel, mille jaoks konventsionaalsed keemilised (märg) graviiprotsessid ei anna vajalikku pindkvaliteeti, anisotropiat või selektiivsust. Lisaks nõuab kasvav seadmete keerukus protsesse, mis on kõrge täpsusega, kontrolli täpsusega, kõrge protsessi stabiilsusega, automatiseeritud ja jätkuvalt monitorimiseks.