Prantsusmaa – Mikroelektroonilised masinad ja aparaadid – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

CEA-Leti soovib oma uurimistegevuse raames, mis on suunatud FDSOI 10nm tehnoloogiate ja nende arendamisele, osta puhta toa jaoks spetsiaalselt metallviiside madala temperatuuriga täitmiseks mõeldud seade, mis on mõeldud mälu rakendusteks. Seade peab suutma kasutada 300 mm vaakumeid ja on mõeldud kõrge konformiteediga õhukese volframifilmi asetamiseks kõrge aspektisuhtega vias. Planeeritav ostu sisaldab ühe kohustusliku ja nelja vabatahtliku hinnakirja: - Kohustusliku hinnakirjaga option: Option 3 (valikuline teenus): 1. taseme hooldustreening. - Vabatahtliku hinnakirjaga optionid: Option 1 (valikuline toode): Soojusvahetus / jahutid. Option 2 (valikuline toode): Elektri toite transformaator. Option 4 (valikuline teenus): Täienduslik hooldustreening. Option 5 (valikuline teenus): Garantiia pikendamine ühe aasta võrra.