Prantsusmaa – Elektroonilised, elektromehaanilised ja elektrotehnilised tarvikud – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

CEA-LETI taotleb oma uurimistegevustes, mis on suunatud 10 nm ja selle järel FD-SOI tehnoloogiate arendamisele, ostmiseks mõõteseadme, mis on 200 mm ja 300 mm waferitega ühilduv, kasutamiseks 100 klassi puhtaruhas. Seade peab sisaldama ellipsomeetria ja spektroskoopilise reflektomeetria funktsioone. See peab tagama täpseid ja taastuvate mõõtmisi kihtide paksuste ja optiliste omaduste kohta lihtsates või kuhjatud kihtides. Sihttehnoloogiad hõlmavad näiteks SOI, high-k materjale, GaN, SiC ja III-V. Plaanitav turu hõlmab: - kindla osa, mis vastab baasvarustusele, - valikulise osa nr 1, mis on seotud OCD ja arvutikeskkonna (OCD mooduli) tootmistega. Praegune turu sisaldab järgmist valikulist, vabatahtlikult hindamist: o OPT1: Esmase taseme hoolduse koolitus o OPT2: Täiendava hoolduse koolitus o OPT3: Elektritransformaatori tootmine o OPT4: Soojusvahetuse/jahutite tootmine o OPT5: Garantiiaeg 1 lisalise aasta võrra pikendamine o OPT6: Transportimise hind, millel on kaasas kindlustus, DAP CEA Grenoble tingimustel (ICC 2020 Incoterms konventsioon).