Prantsusmaa – Mikroelektroonilised masinad ja aparaadid – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

CEA-LETI soovib oma uurimisaktiviteetide jaoks osta seadeldise, poolautomaatse keemiatöölaud, mis on mõeldud III-V materjalide gravüüri- ja puhastusprotsessideks silitsiumplaadidel, indiumfosfiid (InP) või galliumarseniid (GaAs) plaadidel diameetritega 100, 150, 200 ja 300 mm mikroelektroonika jaoks. See töölaud asendab juba olemasolevat töölauda LETI puhastusruumis. Seega peab pakutav seade vastama järgmistele mõõtmetele: o Pikkus = 2500 mm o Sügavus = 1700 mm o Kõrgus = 2100 mm

Leping hõlmab ka järgmisi valikuid, mille hindamine on vabatahtlik*: o Valik 1: Temperatuuri vahetus ja jahutid (§3.2.6); o Valik 2: Toite transformaatorid (§4.1.4); o Valik 3: Esmase taseme hooldus- ja remonduskoolitus (§9); o Valik 4: Täiendav hooldus- ja remonduskoolitus (§9); o Valik 5: Garantiia pikendamine ühe aasta võrra (§11.1); o Valik 6: Kuivkontakti pakkumine, mis näitab H2SO4 või H2SO5 draani kraani avamist (§4.2.3); o Transportimise hind, millel on kaasas kindlustus, DAP CEA Grenoble tingimustel (ICC 2020 Incoterms leping).