Portugal – Laboriseadmed, optika- ja täppisinstrumendid (v.a klaasid) – STANDARD AND TECHNICAL SPECIFICATIONS TO GOVERN THE CONTRACT FOR THE SUPPLY AND INSTALLATION OF AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTIVE ION ETCHING (ICP-RIE) SYSTEM

Tänavaeheleku objekt on teaduslikku varustust ja komponente INL-le tootmine ja paigaldamine, mis on allpool loetletud ja mida on täpsustatud Standardspetsifikatsioonidele (edaspidi nimetatakse ‘spetsifikatsioonideks’) lisatud V lisas. Spetsifikatsioonide V lisas loetletud varustus on pakkumise osad, millele pakkujad võivad pakkumisi teha. Pakkumise osadeks on üks või mitu osa. Pakkumise objektiks ei ole kunagi nimetatud remonditud teaduslikud seadmed ja varustus. Pakkumise üksik osa on järgmine: Tootmine, paigaldamine, komisjoneerimine, vastuvõtutestimine ja õppimine kõrge jõudlusega Induktiivselt Kõrgendatud Plasma Reaktiivne Ioonide Eemaldamise (ICP-RIE) süsteem, mis on mõeldud mikro- ja nanofabrikatsiooniks.