Saksamaa – Mitmesugused eriotstarbelised masinad – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Ostmiku ostmine on olemasoleva 200 mm volframi keemilise aurustamise (CVD) süsteemi, tootja Applied Materials Inc. (AMAT), üleskõndamine WxZ Sprint konfiguratsioonile. Selleks on vajalikud muudatused gaasijaotussüsteemis, et realiseerida impulssilist volframi sadestusprotsessi, ning lisavarustus integreerimine, et võimaldada sadestusruumalist 300 Torr. Teenused hõlmavad planeerimist, toimetamist, integreerimist, seadistamist ja kvalifitseerimist vajalikke hard- ja softwaremuudatusi olemasolevas seadmesüsteemis.