Taani – Tööstusmasinad – Delivery and installation of a High ion density etcher for lithium niobate on insulator - LiNb03 (LN)

DTU Nanolab soovib ostaa kõrge ioonitihedusega reaktiivne ioonkärpseja liitiumnioobaadile isolaatoril 150 mm vaibaprotsessimiseks. Toodet on oodatud viimaks Q4 2027. Meie otsime väga mitmekülgset seadet, mis pakub stabiilseid kärpseja retsepte, võimaldades kärpsetada nii nanomeetri kui ka mikromeetri ulatuses kärpseja sügavuse täpsel kontrolliga, tavaliselt mõned sadad nm. Seade peab olema riistvara poolest uuema põlvkonna, profiili kontrolli, ühtluse, valikulise ja eriti kärpseja külgseina silekuse osas. See on oluline, et saavutada madal juhtme kaotus. Seade paigaldatakse DTU Nanolab puhastusruumi - ülikooli tööstus, mis pakub laia valikut mikro- ja nanofabrikatsiooni tööriistu. See teenindab üle 200 aktiivse kasutaja, alates algajatest üliõpilastest kuni kogemusrikkastest uurijateni, samuti suurt kommertsiaalsete klientide protsenti. DTU Nanolabis on mitmeid uurimisrühmi ja ettevõtteid, mis töötavad optiliste seadmete arendamise ja väikese tootmismahtudega tootmisega tööriistadega. Seega on meile väga oluline, et seade võimaldaks kärpsetada sile optiline juhtme, triibud ja teisi madala karevuse optilisi seadmeid.