Ruotsi – Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lundin yliopiston fysiikan laitoksen Lund Nano Lab hankkii Elektronisäde litografian työkalun. Instrumentti on tarkoitettu korkearesoluutioiselle, toistettavalle kuviointiin, ja se on varustettu suurella kirjoituskentällä korkealle läpimenokuviointia varten sekä automaattisilla itsekalibrointirutiineilla pitkien altistusten tukea varten vähimmällä virheillä sädevirran drifta. Lopuksi sen joustava näytekuormausjärjestelmä on konfiguroitava laajalle näytevalikoimalle pienistä perusluonnontutkimuksessa käytettävistä paloista tai levyistä, joiden halkaisija on enintään 8" pilottituotantotestauksen.

Näillä ominaisuuksilla Elektronisäde litografian työkalusta tulee Lund Nano Labin valmistusinfrastruktuurin keskeinen osa ja se tukee laajaa sovellutusaluetta, kuten kvanttilaitteita, korkeatehoisia elektronisia komponentteja, metasurfaces ja muuta. Lisäksi tarjous on sisältävä kaikki liittyvät kustannukset, kuten takuun, pakkauksen, vakuutuksen, paikan päällä asennuksen, komissioinnin, FAT, SAT, veron ja kuljetuksen, koulutuksen, dokumentaation, tuen, kehityksen/ohjelmistopäivitykset, velvollisuudet Packaging Producer Responsibility Ordinance (2022:1274) mukaan jne.