Ranska – Mikroelektroniset koneet ja laitteet – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

CEA-LETI haluaa hankkia 300mm:n mekaanis-kemiallisen hiomakoneen tutkimustoimintaansa, joka kohdistuu FD-SOI 10 nm:n ja sen yli teknologioiden kehittämiseen. Laitteiston tulee pystyä hiomaan metallikalvoja, kuten kuparia tai volframia, sekä estekalvoja, kuten tantalia tai titaania. Laitteiston tulee myös pystyä hiomaan läpikuultavia levyjä. Se tulee varustaa neljällä hiomapöydällä ja kahdella puhdistimella, jotta se voi käsitellä kahdessa prosessissa samanaikaisesti. Laitteiston tulee varustaa viimeisimmän sukupolven hiomapäällä ja päättymispisteen järjestelmillä, jotka mahdollistavat hiomaprofiilin automaattisen säädön. Työkalu tulee myöhemmin integroida in-situ metrologiamoduuli. Tämän sopimuksen sisältämiin pakollisiin optioihin kuuluu seuraava:

- Optio n°1: Vakuutuksen jatkaminen yhden lisävuoden ajaksi.

Tämän sopimuksen sisältämiin valinnaisisiin optioihin kuuluu seuraava:

- Optio n°2: Jäännöksen tunnistimen toimitus (§3.1 tarjousasiakirjasta),

- Optio n°3: Lämpövaihdin/jäähdytin toimitus (§3.2.6 tarjousasiakirjasta),

- Optio n°4: Sähköisen muuntajan toimitus (§4.1.3 tarjousasiakirjasta),

- Optio n°5: Ensimmäisen tasoisen ylläpidon koulutus (§9 tarjousasiakirjasta),

- Optio n°6: Edistyneen ylläpidon koulutus (§9 tarjousasiakirjasta),

- Optio n°7: Kuljetuksen hinta, vakuutus sisältyy, DAP CEA Grenoble -ehdoilla (Incoterms ICC 2020 -sopimus).