Ranska – Sähkötarvikkeet, sähkömekaaniset ja -tekniset tarvikkeet – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

CEA-LETI haluaa hankkia 300 mm laitteiston metallisen PVD-kerroksen asettamiseen tutkimusaktiviteettien kehittämiseksi FD-SOI 10 nm ja sen yläpuolisten teknologioiden kehittämiseksi. Laite on monikammioinen ja sisältää vähintään 5 asettamiskammiota, tyhjiösiirtymälaitteiston, erikoisoksidaatiokammion, ennalta puhdistuskammion ja degasointimodulin. Latausportti on tarkoitus ottaa vastaan vähintään 3 FOUPs. Hankkeeseen kuuluvat seuraavat vaihtoehdot:

- Pakollinen vaihtoehto: OPT1: 1 vuoden lisätaakkuusvakuutus (§11.1 tarjouspyynnön ehdot)

- Vapaaehtoiset vaihtoehdot: OPT2: Lämpövaihtajat / Jäähdytin (§3.2.6 tarjouspyynnön ehdot)

OPT3: Sähkövirran syöttömuunnin (§4.1.4 tarjouspyynnön ehdot)

OPT4: Ensimmäisen tason ylläpitokoulutus (§9 tarjouspyynnön ehdot)

OPT5: Korkeatasoinen ylläpitokoulutus (§9 tarjouspyynnön ehdot)