Ranska – Mikroelektroniset koneet ja laitteet – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

CEA LETI haluaa hankkia tutkimustoimintojensa ja yhteistyösuhteidensa kehittämiseksi optisen inspektiosysteemin, joka on suunniteltu epärakenteellisten waferien tarkastukseen ja joka kykenee tarkastamaan 100 mm, 150 mm ja 200 mm leveydet erittäin herkällä tavalla. Valittu järjestelmä tulee kykenevän tarkastamaan erilaisia materiaaleista ja paksuuksista koostuvia substraatteja. Hankintaan kuuluu pakollinen hinnatettava optio:

- Optio n°1: Ylimääräinen vuoden takuun, joka nostaa kokonais takuun kahdeksi vuodeksi

Hankintaan kuuluu myös hinnatettavat optiot:

- Optio n°2: Sähköisen transformatorin toimitus (laitteistoluettelon kohdan 4.1.4 mukaan)

- Optio n°3: Ensimmäisen tasoisen ylläpidon koulutus inspektiosysteemin

- Optio n°4: Edistyneen ylläpidon koulutus inspektiosysteemin