Ranska – Mikroelektroniset koneet ja laitteet – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

CEA-LETI haluaa hankkia täysin automaattisen atomikerroksen (ALD) kasauslaitteen kehittääkseen 10 nm:n ja sen yläpuolisten täydellisen SOI-teknologioiden tutkimusprojekteissaan. Tämä laite on tarkoitettu pääasiassa 300 mm:n (tai 200 mm:n 200-300 mm:n tukien avulla) levyjen käsittelyyn. Se on tarkoitettu metallien ja metallinitridien kasaukselle ei-väliaikaisille muisteille ja edistyneille kontakteille. Tämä laite on myös varustettava puhdistusratkaisulla parantaakseen pinnan laadun ennen metallien ja metallinitridien kasauksia. Hankintaan sisältyy myös seuraava pakollinen tarjousvaihtoehto*:

- Vaihtoehto 1 – Ylläpitokoulutus Taso 1 (Luku 9)

Hankintaan sisältyy myös seuraavat vaihtoehtoiset tarjousvaihtoehtojen*:

- Vaihtoehto 2 – Lämpövaihtimet (Heat exchangers) ja jäähdytysjärjestelmät (chillers) (Lohko 3.2.6)

- Vaihtoehto 3 – Sähköinen transsformaattori (Power supply transformer) (Lohko 4.1.4)

- Vaihtoehto 4 – Edistynyt ylläpitokoulutus (Luku 9)

- Vaihtoehto 5 – Ennaltaehkäisevä, korjaava ylläpito ja tarvittavat korvaava osat (Lohko 12.2)

- Vaihtoehto 6 – Ylimääräisen vuoden takuun jatko

Kuljetuskustannukset, vakuutuksen mukaan, DAP CEA Grenoble -ehdoilla (Incoterms ICC 2020 -sopimus)