Siirry sisältöön
Takaisin hakua
Tämä tarjous on vanhentunut.

Suomi – Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

VTT Technical Research Centre of Finland LtdSuomiJulkaistu 06.8.2026
Eräpäivä on ohitettu

Kuvaus

Tenderin kohde on reuna-käsittelypölytysklusterityökalu (myöhemmin myös "Laitteisto"). Laitteisto on 200-mm levyille tarkoitettu pölytysklusterityökalu, joka on varustettu levyn reuna-käsittelykykyllä VTT Micronovan puhdistusluokkahuoneen puolijohdesemifront endille. Hankinta sisältää neljän magneettisputterlähteen pölytyskammion. Levyt kosketetaan mekaanisesti vain levyn reunaa, ja ne voidaan kääntää tyhjiössä prosessien välillä. Tenderin kohde ja tekniset vaatimukset kuvataan tarkemmin tarjouspyynnön asiakirjoissa.

CPV-koodit

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Asiakirjat & lähetys

AI-yhteenveto
Kirjaudu sisään AI-yhteenvetoon

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Aiheeseen liittyvät hankinnat