Ranska – Mikroelektroniset koneet ja laitteet – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

CEA-Leti haluaa hankkia tutkimustoimintojensa edistämiseksi teknologioita FDSOI 10nm ja niiden kehittämiseksi, laitteiston, joka on tarkoitettu metallipohjaisen via-täytön alhaisiin lämpötiloihin, muistisovelluksiin, puhdistushuoneeseensa. Laitteisto on kykenemään käyttämään 300mm levyjä ja on tarkoitettu ohutkineen tunganin kalvojen asettamiseen korkealla muotokuvauskyvyllä viaan, jossa on korkea muodon suhde. Markkinat, joita tarkoitus on, sisältävät yhden pakollisen ja neljä vapaaehtoista tarjousta:

Pakollinen tarjous: Option 3 (vapaaehtoinen palvelu): Ensimmäisen tason huoltotarvikekoulutus

Vapaaehtoinen tarjous: Option 1 (vapaaehtoinen toimitus): Lämpövaihtimet / jäähdytin

Vapaaehtoinen tarjous: Option 2 (vapaaehtoinen toimitus): Sähkövirran muuntaja

Vapaaehtoinen tarjous: Option 4 (vapaaehtoinen palvelu): Korkeammalle huoltotarvikekoulutus

Vapaaehtoinen tarjous: Option 5 (vapaaehtoinen palvelu): Yhden vuoden takuun jatko