Ranska – Sähkötarvikkeet, sähkömekaaniset ja -tekniset tarvikkeet – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

CEA-LETI haluaa hankkia tutkimustaan, joka kohdistuu 10 nm FD-SOI-teknologian ja sen kehittämiseen, mittaustyökalun, joka on yhteensopiva 200 mm ja 300 mm waferien kanssa ja käytettävissä luokassa 100 puhtaan huoneen. Työkalulla tulee olla spektroskoppisia ellipsometria- ja reflektometriafunktioita. Se tulee tarjoamaan tarkkoja ja toistuvia mittaustuloksia yksinkertaisista tai kerroksista kerroksille. Teknologiat, joihin kohdistutaan, ovat muun muassa SOI, high-k-materiaalit, GaN, SiC ja III-V.

Hankintakohde sisältää:

- kiinteän osan, joka vastaa peruslaitteistosta

- option 1, joka koskee OCD:n ja tietokoneympäristön toimitusta (OCD-Moduli)

Seuraavat optionaaliset kohteet ovat tarjouksissa:

o OPT1: Koulutus 1. tasolle korjaukseen

o OPT2: Koulutus edistyneeseen korjaukseen

o OPT3: Sähköisen muuntajan toimitus

o OPT4: Lämpövaihdin/jäähdytin toimitus

o OPT5: Vakuutuksen jatkoaika yhden vuoden

o OPT6: Kuljetuksen hinta, vakuutettu, DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020)