Ranska – Mikroelektroniset koneet ja laitteet – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

CEA-LETI haluaa hankkia tutkimustoimintojensa tarpeisiin laitteiston, puolijäätteisen kemiallisen työpöydän, joka on tarkoitettu III-V-materiaalien kaivamiseen ja puhdistamiseen 100, 150, 200 ja 300 mm:n läpimittaisilla silikonilevyillä, indiumfosfidilevyillä (InP) tai galliumarsenidilevyillä (GaAs) mikroelektroniikkaa varten. Tämä työpöytä korvaa jo olemassa olevan työpöydän LETI:n puhtaassa huoneessa. Siksi tarjottava laite on noudattava seuraavia mittoja: o Pituus = 2500 mm o Syvyys = 1700 mm o Korkeus = 2100 mm

Sopimus sisältää myös seuraavat vapaaehtoisesti hinnatettavat vaihtoehdot* :

o Vaihtoehto 1: Lämpötilanvaihtajat ja jäähdytin (§3.2.6) ;

o Vaihtoehto 2: Virtalähteiden muuntajat (§4.1.4) ;

o Vaihtoehto 3: Ensimmäisen tasoisen ylläpidon koulutus (§9) ;

o Vaihtoehto 4: Edistyneen ylläpidon koulutus (§9) ;

o Vaihtoehto 5: Ylimääräisen vuoden takuun jatko (§11.1) ;

o Vaihtoehto 6: Kuivakontakti, joka osoittaa H2SO4 tai H2SO5:n poistoventtiilin avaamisen (§4.2.3) ;

o Kuljetuksen hinta, vakuutettu, DAP CEA Grenoble -ehdoilla (Incoterms ICC 2020 -sopimus).