Saksa – Erilaiset erikoiskoneet – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Hankintäkohtana on olemassa olevan 200 mm volframi Chemical Vapor Deposition (CVD) -järjestelmän, valmistaja Applied Materials Inc. (AMAT), päivitys WxZ Sprint -konfiguraatioksi. Tähän kuuluu erityisesti kaasujakelujärjestelmän muokkaus pulssimaisen volframi -päällystysprosessin toteuttamiseksi sekä lisälaiteiden integrointi mahdollistaakseen päällystyspaineita 300 Torr asti. Palvelut käsittävät suunnittelun, toimituksen, integroinnin, käynnistämisen ja vaadittujen laite- ja ohjelmistomuutosten laitteistossa.