France – Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes – Equipement d'inspection optique automatique 300mm

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant, capable de détecter des défauts d’une taille minimale de 300nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. L’équipement devra être équipé de plusieurs lentille optique et pourra traiter des plaques 200mm et 300mm d’épaisseur variable. Il devra pouvoir traiter des fichiers au format spécifique KLARF et permettre de la revue et de la classification de défaut. Le marché comporte : - L'équipement de base, - Des options à chiffrage facultatif : Option 1 : Configuration hardware capable de traiter des plaques transparentes Option 2 : Transformateur électrique Option 3 : Formation maintenance de niveau 1 Option 4 : Formation Maintenance de niveau avancé Option 5 : Extension de garantie (1 année supplémentaire)