An Fhrainc – Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

Ar aghaidh a ghnóthaí taighde chun forbairt na teicneolaíochtaí FD-SOI 10 nm agus thar sin, ba mhaith le CEA-LETI gléas 300 mm a cheannach le haghaidh déanamh deataigh mheatailiceach trí PVD. Beidh an gléas i bhfoirm gléas le roinnt seomraí agus beidh sé riachtanach go mbeidh a lán 5 seomra déanamh, plátafóir aistrithe faoi bhithfhíorú, seomra oicsídíochta diongbháilte, seomra roghnóiríochta roimh-ghlánaíochta agus módúl déghású. Beidh an port luchtaithe in ann a lán 3 FOUPs a fháisc. Cuimsíonn an margadh a bhfuil ar intinn an roghanna seo a leanas:

- Roghanna riachtanacha: OPT1: Leasú 1 bliain breise ar an gharantú (§11.1 den tsochraigh)

- Roghanna neamh-riachtanacha: OPT2: Fuinneoga teasa / Fuinneoga fuaraithe (§3.2.6 den tsochraigh) OPT3: Trasfhoirneoir cumhachta leictreach (§4.1.4 den tsochraigh) OPT4: Traenáil ar mhainint an chéad leibhéal (§9 den tsochraigh) OPT5: Traenáil ar mhainint leibhéal ardaithe (§9 den tsochraigh)