An Fhrainc – Electromechanical equipment – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

Is é an fhoirneachán graibheála FEOL/MEOL a bhíonn á lorg ag an CEA Leti, chun a ghnóthaí a chur chun cinn sa réimse na dteicneolaíochtaí FDSOI 10nm agus thar a bheith (FDSOI10), do thionscnamh a chur ar fáil i dtearmann na fíonaíochta. Beidh an t-foirneachán ábalta wafers de 300mm a phróiseáil agus beidh sé in ann graibheáil uasmhianaithe agus isatrópach ar an síliciam (Si) agus an síliciam-gearmáin (SiGe). Beidh sé mar chuid de na roghanna a bhíonn á lorg mar gheall ar na roghanna seo a leanas:

- Roghanna 1: Próiseas 7 (graibheáil an spáisear SiCO)

- Roghanna 2: Próiseas 8 (graibheáil an spáisear agus SADP)

- Roghanna 3: Formáil an tsláinte Nível 1

Mar aon le cíos na roghanna seo a bhíonn á lorg mar gheall ar na roghanna seo a leanas:

- Roghanna 4: Éascaighteoirí teasa (Heat exchangers) agus córais fuinnimh (chillers) (Rannán 3.2.6)

- Roghanna 5: Trasfóirí cumhachta (Power supply transformer) (Rannán 4.1.4)

- Roghanna 6: Formáil an tsláinte ardoideachais (Capa 9)

- Roghanna 7: Seirbhísí sláinte, sláinte, agus na páirteanna a bhíonn á lorg (Rannán 12.2)