An Ghearmáin – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

An bheith ag iarraidh an Ruhr-Universität Bochum a bheith ag ceannach cláir áitiúcháin DRIE a úsáidfear sa lárionad taighde Microelektronic Bochum do bhfoirmlí Wafer go dtí 200 mm trastí. Beidh sí á n-úsáid ar an réimse na Micreathraigh-Eileictronaigh-Mheicniúla (MEMS) bunaithe ar shiliceam, do thaisteal anáitiúcháin chomh fhionnánach agus an próiseas áitiúcháin chiclach (DRIE, "BOSCH-Process") agus chun taighde a dhéanamh ar chonáip áitiúcháin nua a úsáidfear gáis áitiúcháin a bhfuil níos lú deacrachtaí ar an aeráid.