An Fhrainc – Microelectronic machinery and apparatus – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Léiríonn an CEA-LETI aici a dhearthaíocht a bhfuil sé ag iarraidh a cheannach ar son a gnóthaí taighde, balla ceimiceach le haghaidh an ghráiníochta agus an glanaithe ar mhianraí III-V ar phlátaí síliciam, fosfairídíníam (InP) nó arsainíúir ghallaim (GaAs) le diaiméadair 100, 150, 200 agus 300 mm do mhicreileictreonach.

Tá an balla seo á n-áthrú ar balla atá ann cheana féin sa seomra glana LETI. Mar sin, caithfidh an t-eagraíocht a bheidh ar fáil a bheith dea-ghnóthach le na diméin seo a leanas:

o Fad = 2500 mm

o Doimhneacht = 1700 mm

o Ard = 2100 mm

Cuimsíonn an tionól freisin na roghanna seo a leanas a bhfuil an áirithint aici ar a rogha:

o Roghanna 1: Scamhóga teochta agus fuinneoga taithe (§3.2.6);

o Roghanna 2: Trasfóirí solais (§4.1.4);

o Roghanna 3: Oiliúint ar an gcoimeád 1ú leibhéal (§9);

o Roghanna 4: Oiliúint ar an gcoimeád ardleibhéal (§9);

o Roghanna 5: Leasú ar an gharant (§11.1);

o Roghanna 6: Cuirfear an t-aidhm ar fáil ar an gceangal gáis a bhfuil an fhoinse H2SO4 nó H2SO5 ag oscailt (§4.2.3);

o An príomhphríos a bhfuil an t-áirithint ar an tráchtáil, an t-áirithint ar an ábhar, de réir na nDátaí DAP CEA Grenoble (Conradh Incoterms ICC 2020).