Švedska – Laboratorijska, optička i precizna oprema (osim naočala) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab nabavlja uređaj za elektronolitografiju. Instrument je namijenjen za visoko rezolucijsko, ponovljivo oblikovanje, opremljen velikim poljem pisanja za visoku propusnost oblikovanja, te automatiziranim rutinama samokalibracije da bi podržao duge izlaganja s minimalnim pogreškama zbog drifta zraka. Na kraju, njegov fleksibilni sustav učitavanja uzoraka mora biti konfiguriran za širok raspon uzoraka od malih komada korištenih za osnovna istraživanja, ili ploča do 8" u promjeru za testiranje pilot proizvodnje. S tim svojstvima, uređaj za elektronolitografiju postat će središnji dio infrastrukture za proizvodnju Lund Nano Lab i podržati će niz primjena kao što su kvantni uređaji, visokomočna elektronika, metasurface i još mnogo toga. Pored instrumenta, tender mora uključivati sve povezane troškove kao što su garantija, pakiranje, osiguranje, instalacija na licu mjesta, pokretanje, FAT, SAT, carina i prijevoz, obuka, dokumentacija, podrška, razvoj/ažuriranja softvera, naplate prema propisu o odgovornosti proizvođača za pakiranje (2022:1274) itd.