Francuska – Mikroelektronički strojevi i aparati – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Za svoje istraživačke aktivnosti usmjerene na razvoj tehnologija FD-SOI 10 nm i dalje, CEA-LETI želi nabaviti opremu za mehano-hemijsko poliranje promjera 300 mm. Oprema mora moći polirati metalne filmove poput bakra ili volframa te barijerne materijale poput tantala ili titanija. Oprema mora također moći polirati prozirne ploče. Mora biti opremljena s 4 ploče i 2 čistača kako bi se mogli obraditi 2 postupka paralelno. Mora biti opremljena s glavama za poliranje i sustavima za kraj poliranja posljednje generacije koji omogućuju automatsku prilagodbu profila poliranja. Alat će kasnije integrirati modul za in-situ metrologiju. Ovaj ugovor uključuje sljedeću obaveznu opciju: - Opcija br. 1: Produženje jamstva za dodatnu godinu. Ovaj ugovor uključuje sljedeće fakultativne opcije: - Opcija br. 2: Dovoz senzora za ostatke (§3.1. tehničkog zadatka), - Opcija br. 3: Dovoz toplinskog izmjenjivača/hladnjaka (§3.2.6. tehničkog zadatka), - Opcija br. 4: Dovoz električnog transformatora (§4.1.3. tehničkog zadatka), - Opcija br. 5: Obuka za održavanje 1. razine (§9. tehničkog zadatka), - Opcija br. 6: Obuka za napredno održavanje (§9. tehničkog zadatka), - Opcija br. 7: Cijena transporta, uključujući osiguranje, prema uvjetima DAP CEA Grenoble (Konvencija Incoterms ICC 2020).