Francuska – Mikroelektronički strojevi i aparati – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

U okviru svojih istraživačkih aktivnosti usmjerenih na razvoj tehnologija SOI s potpuno iscrpljenim 10 nm i dalje, CEA-LETI želi nabaviti potpuno automatski uređaj za taloženje slojeva atoma (ALD). Ovaj uređaj će se prvenstveno koristiti za obradu ploča od 300 mm (ili 200 mm uz pomoć podrške 200-300 mm). Namijenjen je taloženju metala i metalnih nitrida za nepovratne memorije i napredne kontakte. Ovaj uređaj također mora uključivati rješenje za čišćenje kako bi se poboljšala kvaliteta površine prije taloženja metala i metalnih nitrida. Ugovor također uključuje sljedeću opciju s obaveznim cijenjenjem*: - Opcija 1 – Obuka za održavanje Nivo 1 (Poglavlje 9) Ugovor također uključuje sljedeće opcije s fakultativnim cijenjenjem*: - Opcija 2 – Razmjenjivači topline (Heat exchangers) i sustavi za hlađenje (chillers) (Odjeljak 3.2.6) - Opcija 3 – Električni transformator (Power supply transformer) (Odjeljak 4.1.4) - Opcija 4 – Napredna obuka za održavanje (Poglavlje 9) - Opcija 5 – Usluge preventivnog, korektivnog održavanja i potrebnih zamjenskih dijelova (Odjeljak 12.2) - Opcija 6 – Produženje garantije za dodatnu godinu - Cijena transporta, uključujući osiguranje, prema uvjetima DAP CEA Grenoble (Konvencija Incoterms ICC 2020)