Španjolska – Elektronički integrirani krugovi i mikrosklopovi – Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

Nabava predmeta ugovora potrebna je za provedenje istraživanja i razvoja za Pilot Line Sveučilišta u Valenciji, s ciljem poboljšanja postojećih naprednih pilot linija i razvoja novih po cijeloj Uniji, kako bi se omogućilo razvojem i uvođenje prednjeg ruba tehnologija poluprovodnika i tehnologija poluprovodnika sljedeće generacije. U tom cilju potrebno je obaviti nabavu, između ostalog, sljedećeg opreme: 4 • UPV04 - Elektronski snop litografski alat za valove do 8 inča: Uređaj za litografiju snopom elektrona koji izlaže uzorke na osjetljivim otpornicima pomoću fokusiranog i skeniranog snopa elektrona. Piše nanometarske karakteristike prema dizajnu u digitalnoj datoteci. Namijenjen za nanofabriciranje, posebno za maske i strukture u fotonici, poluprovodnicima i nanoteknologiji. • UPV13 – SEM: Uređaj za inspekciju površina pomoću fokusiranog snopa elektrona koji daje nanometarske slike. Omogućuje dobivanje morfoloških podataka i kontrasta površine, kao i kontrast povezan s razlikama u sastavu ili atomskom broju, ovisno o detektorima i načinima slikanja. Namijenjen za metrologiju, inspekciju i validaciju procesa i kontrolu kvalitete. Odgovarajuće opremu potvrđuje njegova sposobnost zajedničkog zadovoljavanja zahtjeva za nanofabriciranje i metrologiju potrebne za proizvodnju u pilot liniji integriranih hibridnih fotonskih krugova. Ova sposobnost omogućuje koordinaciju definiranja parametara izlaganja i točaka interesa za kasniju metrologiju, integraciju postprocesne vanjske inspekcije SEM-a i osiguravanje tragovosti i koherencije podataka generiranih tijekom procesa proizvodnje.