Belgija – Laboratorijska, optička i precizna oprema (osim naočala) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Objašnjenje

Nadležna tijela namjeravaju kupiti visokokvalitetni sustav za taloženje tankih filmova za istraživanja naprednih materijala u okviru ERC-financiranog projekta THERMAGINE. Sustav će se koristiti za taloženje i inženjerstvo magnetskih metalnih i oksidnih tankih filmova i slojeva s nanometarskom kontrolom debljine. Oprema će se prvenstveno koristiti za izradu magnetskih (multislojnih) tankih filmova i klinova za nanomagnetska istraživanja. Sustav mora stoga pružiti visok stupanj fleksibilnosti, reproduktivnosti, stabilnosti procesa i automacije. Za tehničke detalje pogledajte dio III.

Lot 2 Objašnjenje

Da bi se olakšalo istraživačko istraživanje u čistoj sobi UGent, potrebna je nova fizička parašna taloženja (PVD) sustava koji može rukovati substratima veličine od najmanje 100 mm. PVD sustav će se dijeliti između grupe za istraživanje fotonike (PRG) i grupe za istraživanje tekućih kristala i fotonike (LCP) za taloženje širokog spektra (gotovo isključivo) metalnih ili dielektričnih tankih filmova. U zadatku je uključena pokretanje i instalacija alata, kao i zatvorena komora za brže uvozoranje uzoraka i obuka od strane dobavljača opreme. PVD sustav za taloženje tankih filmova od 100 mm, s obje e-gun isparavanja i sputtering izvora i zatvorena komora.

Lot 3 Objašnjenje

Potrošni materijali za prvu godinu za Lot 2. Lot 3 se odnosi na jednorazmjenu kupnju potrošnih materijala specifično potrebnih za PVD sustav opisani pod Lot 2 i za korištenje u čistoj sobi UGent tijekom prve godine rada. Inventar mora uključivati barem zlato za sputtering mete, titanij za sputtering mete, zlato za e-gun isparavanje i titanij za e-gun isparavanje. Druge potrošne materijale, kao što su aluminij, nikl, platina, aluminij-oksid, krom i slični materijali, mogu se ponuditi kao opcionalni dodatni artikli, ali nisu obavezni.