Preskoči na sadržaj
Natrag na pretraživanje

Njemačka – Laboratorijska, optička i precizna oprema (osim naočala) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität BochumNjemačkaObjavljeno na 12. kol 2026.
Nije naveden rok

Opis

Ruhr-Universität Bochum namjerava nabaviti uređaj za DRIE graviranje koji će se koristiti u istraživačkom laboratoriju za mikroelektroniku Bochum za podloge s pločicama do 200 mm u promjeru. Trebao bi se koristiti u području silicij baziranih mikroelektromehaničkih sustava (MEMS) za duboko anisotropno silicijsko graviranje na temelju ciklusnog gravirnog procesa (DRIE, "BOSCH-proces") i, osim toga, služiti istraživanju novih gravirnih koncepata koji koriste manje štetne gravirne plinove za klimu.

CPV kodovi

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Dokumenti i prijava

Sažetak AI
Prijavi se za sažetak AI

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Povezane nabave