Preskoči na sadržaj
Natrag na pretraživanje

Njemačka – Razni strojevi za posebne namjene – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikNjemačkaObjavljeno na 04. lip 2026.
Nije naveden rok

Opis

Predmet nabave je nadogradnja postojećeg sustava za 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD) tvrtke Applied Materials Inc. (AMAT) na konfiguraciju WxZ Sprint. Za to je potrebno posebno prilagoditi sustav raspodjele plinova za ostvarivanje pulsiranog procesa taloženja volframa, kao i integrirati dodatno hardveru za omogućivanje tlakova taloženja do 300 Torr. Usluge obuhvaćaju planiranje, dostavu, integraciju, puštanje u pogon i kvalificiranje potrebnih prilagodbi hardvera i softvera na postojećem sustavu.

CPV kodovi

Miscellaneous special-purpose machineryMicroelectronic machinery and apparatus

Dokumenti i prijava

Sažetak AI
Prijavi se za sažetak AI

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Povezane nabave