Svédország – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lund Egyetem, Fizikai Tanszék, Lund Nano Lab vásárol Electron Beam Lithography Tool-t. Az eszköz magas felbontású, ismétlődhető mintázatkészítésre szolgal, nagy írásmezővel felszerelve magas átviteli sebességű mintázatkészítéshez, valamint automatizált önkalibrációs rutinokkal, amelyek hosszú expozíciók támogatására alkalmasak minimális hibákkal a sugárdrift miatt. Végül, a rugalmas mintaterhelési rendszernek konfigurálni kell egy széles mintaterhelési tartományra, kis daraboktól, amelyek alapvető tudományra használhatók, vagy akár 8" átmérőjű lemezekig a pilótaprodukció teszteléséhez. Ezzel a tulajdonságokkal az Electron Beam Lithography Tool a Lund Nano Lab gyártási infrastruktúra központi részévé válik, és támogatja a kvantum eszközök, nagy teljesítményű elektronika, metaszurfaces és több más alkalmazásokat. Az eszközön kívül a tendernek minden kapcsolódó költséget is tartalmaznia kell, például garantia, csomagolás, biztosítás, helyszíni telepítés, bocsájtás, FAT, SAT, vám és szállítás, képzés, dokumentáció, támogatás, fejlesztés/software frissítések, az 2022:1274 számú rendelet szerinti gyártó felelősség a csomagolásért, stb.