Németország – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

Szállítás "szabad felhasználási helyre", telepítés és üzembehelyezés egy Cz-növelési berendezésnek a fluorid-egykristályok növeléséhez. Emellett: dokumentáció biztosítása, átvétel (gyári és végső átvétel), szerviz zavar esetén. A rendszer lehetővé teszi a fluorid-egykristályok növekedését olvadékból húzó eljárással (pl. Czochralski-eljárás). A rendszer egy kutatási környezetben kerül felhasználásra és gyakori felhasználói hozzáférés, egyszerű karbantartás, valamint magas folyamatstabilitást kell biztosítania. A rendszer 100 mm (4 hüvelyk) maximális átmérőjű és 5 kg súlyú kristályok gyártására képes. A tégla belső maximális átmérője kb. 200 mm-re becsülhető. A kristálynövelési folyamat egy vízhűtéses nikkelacélkamrában történik, melynek belső falát elektropolírozni kell, hogy magasvakuumot érjünk el. Argon és CF4 használatos folyamatgázok. A rendszernek rendelkezni kell bake-out funkcióval, azaz a kamrát melegítés mellett (>50 °C) ki kell szívni egy magasvakuumra (<1×10-6 mbar). A folyamat 1,05-1,1 bar nyomáson, statikus vagy áramló atmoszférában történik. Az alapanyag egy szén alapú tégla (grafit vagy üvegszerű szén) tartalmazza, amelyet a nikkelacélkamra központjában melegítenek. A melegítés grafit ellenállóhemezéssel történik, amely a tégla és az olvadék felmelegítését végzi. A kristályosodási folyamat egy impfkristály kezdeti, amely egy forgó és transzlációs mozgású platina tengelyre van rögzítve és az olvadékba merül. Az impfkristályt ezután lassan kiveszik az olvadékból forgatva, így egy volumegykristály keletkezik.