Franciaország – Mikroelektronikai gépek és berendezések – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

A CEA-LETI kutatási tevékenységének keretében, amely a 10 nm és annál kisebb FD-SOI technológiák fejlesztését célozza, egy 300 mm-es mechano-kémiai polírozó berendezést szeretne beszerelni. A berendezésnek képesnek kell lennie a réz vagy volfrám fémrétegek, valamint a tantál vagy titán szilárdféle anyagok polírozására. A berendezésnek képesnek kell lennie a átlátszó lemezek polírozására is. Négy polírozó tálcával és két tisztítóval kell rendelkezni, hogy két folyamatot párhuzamosan kezelhessen. A legújabb generációs polírozó fejjel és az end-point rendszerekkel kell felszerelni, amelyek lehetővé teszik a polírozási profil automatikus beállítását. A berendezés később integrálni fog egy in-situ metrológiai modult. A jelen szerződés tartalmazza az alábbi kötelező opciót: - Opció n°1: A garantia egy évvel történő meghosszabbítása. A jelen szerződés tartalmazza az alábbi opcionális opciókat: - Opció n°2: Maradékérzékelő szállítása (§3.1 a megbízási feltételek), - Opció n°3: Hőcserélő/hűtő szállítása (§3.2.6 a megbízási feltételek), - Opció n°4: Villamos transzformátor szállítása (§4.1.3 a megbízási feltételek), - Opció n°5: Első szintű karbantartási kiképzés (§9 a megbízási feltételek), - Opció n°6: Haladó karbantartási kiképzés (§9 a megbízási feltételek), - Opció n°7: A szállítás ára, biztosításot is tartalmazza, a CEA Grenoble DAP feltételei szerint (Incoterms ICC 2020 egyezmény).