Németország – Különféle általános és különleges célú gépek – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Modularis, teljesen automatizált vizsgáló berendezés optikai vizsgálat és elektromos kontaktus céljára elektronikus, fotonikus és mikroelemechanikus eszközök számára — beleértve az előrehaladott gyártási megközelítéseket, mint a kvazimonolitikus integráció. A rendszer kezeli a 200 mm-es wafereket, valamint kereteket, szalagokat, ládákat és hasonló szubsztrátokat. Egy végpont- végpont viselőkezelő rendszer tölti be a viselőket a szubsztrátokkal, amelyek a speciális kassettekből származnak, pozicionálja őket a vizsgáló berendezés vákuum szorítója fölé és végrehajtja a teljesen automatizált igazítást. Elektromos csatlakozásra testcard/probe-card interfész biztosítva. A probe érzékelés és finom pozicionálás automatikusan történik, hogy biztosítsa a megismételhető kontaktus feltételeket. A vezérlő szoftver támogatja a programozható sorozatszabályozást és a referenciapont alapú igazítást. Az optikai vizsgálat céljára a rendszer egy mozgatható mechanikus interfészt biztosít, amely elfogadja a moduláris, ügyfél által szállított optikai vizsgáló modulokat (pl., mikroskop kamera) oldalirányú és függőleges állításokkal. A tér a p