Franciaország – Villamos, elektromechanikus és elektrotechnikai kellékek – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

A CEA-LETI kutatási tevékenységei keretében, amely a 10 nm és annál kisebb FD-SOI technológiák fejlesztésére irányul, egy 300 mm-es PVD fémbevonó berendezést szeretne beszerelni. A berendezés többkamrás lesz és legalább 5 bevonó kamrát, egy vákuumátmeneti platformot, egy kizárólag oxigénkamrát, egy előtisztító kamrát és egy degázáló modult kell tartalmaznia. A betöltő port legalább 3 FOUP fogadására alkalmasnak kell lennie. A tervezett szerződés a következő opciókat tartalmazza:

- Kötelező opció: OPT1: 1 évvel meghosszabbított garancia (a megbízási feltételek 11.1. pontja)

- Választható opciók:

OPT2: Hőcserélők / Hűtők (a megbízási feltételek 3.2.6. pontja)

OPT3: Villamos tápláló transzformátor (a megbízási feltételek 4.1.4. pontja)

OPT4: Első szintű karbantartási képzés (a megbízási feltételek 9. pontja)

OPT5: Haladó szintű karbantartási képzés (a megbízási feltételek 9. pontja)