Franciaország – Mikroelektronikai gépek és berendezések – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

A kutatási tevékenységei és partnerkapcsolatai fejlesztése érdekében a CEA LETI szeretne megvásárolni egy optikai vizsgálati rendszert, amely a nem szerkezeti waferek vizsgálatára alkalmas, és képes 100 mm, 150 mm és 200 mm átmérőjű elemeket vizsgálni, előrehaladott érzékenységgel. A kiválasztott rendszernek képesnek kell lennie különböző anyagokból és vastagságú szubsztrátok vizsgálatára. A szerződés tartalmaz egy kötelező kifizetéssel járó opciót:

- Opció 1: Egy évvel meghosszabbított garancia, ami a teljes garanciaidőt két évre növeli

A szerződés tartalmaz opciókat, amelyek kifizetésével nem kötelező:

- Opció 2: egy villamos transzformátor szállítása (a technikai követelmények 4.1.4. pontja)

- Opció 3: az első szintű karbantartási képzés a vizsgálati rendszerhez

- Opció 4: az előrehaladott karbantartási képzés a vizsgálati rendszerhez