Franciaország – Mikroelektronikai gépek és berendezések – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

A CEA-LETI kutatási tevékenységei keretében, amely célja a 10 nm-es és annál kisebb teljes kimerülésű SOI technológiák fejlesztése, egy teljesen automatikus atomréteg-lehelyezési (ALD) berendezést szeretne beszerelni. Ez a berendezés elsősorban 300 mm-es (vagy 200 mm-es, 200-300 mm-es tartókkal) lemezek feldolgozására szolgál. A berendezés a nem-volatilis memóriák és az előrehaladott kontaktok számára fém- és fémnitrid-lehelyezésre szolgál. A berendezésnek egy tisztítási megoldást is tartalmaznia kell, hogy javítsa a fém- és fémnitrid-lehelyezés előtt a felület minőségét. A szerződésbe beletartozik a következő kötelező kifizetésű opció* :

- Opció 1 – Karbantartási Nivel 1 képzés (9. fejezet)

A szerződésbe beletartozik a következő opciók, amelyek kifizetését a szerződő fél szabadon megválaszthatja* :

- Opció 2 – Hőcserélők (Heat exchangers) és hűtőrendszerek (chillers) (3.2.6. szakasz)

- Opció 3 – Villamos átalakító (Power supply transformer) (4.1.4. szakasz)

- Opció 4 – Haladó karbantartási képzés (9. fejezet)

- Opció 5 – Megelőző, javító karbantartási szolgáltatások és szükséges cserélemek (12.2. szakasz)

- Opció 6 – Egy évvel hosszabbított garantia

A szállítás, biztosítás beletartozik, a DAP CEA Grenoble feltételek szerint (Incoterms ICC 2020 egyezmény)