Spanyolország – Elektronikus integrált áramkörök és mikroszerkezetek – Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

A jelen expedíció tárgyában történő beszerzés szükséges a Pilot Line-hoz tartozó kutatási és fejlesztési munkák végrehajtásához, a UPV-nél, azzal a céllal, hogy javítsuk a már létező előrehaladott pilot line-okat és fejlesztjük az újakat az egész Unióban, hogy lehetővé tegyük a vanguárd és a következő generációs félvezető technológiák fejlesztését és bevezetését. E célból szükséges a következő felszerelések beszerzése, köztük:

4 • UPV04 - Elektroncsík litográfiai eszköz 8 hüvelykig: Elektroncsík litográfiai eszköz, amely egy fókuszált és szkenált elektroncsík segítségével mintákat ír le érzékeny rezisztenciákra. Nanométeres felbontású jellemzőket ír le a digitális fájlban megadott tervezés szerint. Szolgál a nanofabricáció mintázatának, különösen a fotonikai, félvezetői és nanotecnológiai áramkörök és szerkezetek számára. • UPV13 – Részecske-SEM: Felszínek vizsgálatára szolgáló eszköz, amely nanométeres felbontású képeket ad. Morfológiai és felszínkontraszt-információt, valamint a komponens- vagy atomszám-különbségekhez kapcsolódó kontrasztot lehet vele megkapni, a rendelkezésre álló detektorok és képmódok függvényében. Szolgál a metrológia, folyamatvizsgálat és -validálás, valamint minőségellenőrzés céljára. A felszerelés alkalmassága abban alapul, hogy együtt tudja fedezni a fotonikai integrált hibrid áramkörök pilot line gyártásához szükséges mintázási és metrológiai követelményeket. Ez a képesség lehetővé teszi a kitelepítési paraméterek és a metrológia érdeklődési pontjainak meghatározását, a posztfolyamat külső SEM-inspekciós integrációját, valamint a gyártási folyamat során generált adatok nyomonkövethetőségét és összhangját.