Tartalomhoz ugrás
Vissza a kereséshez
Ez a kiválasztás lejárt.

Finnország – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

VTT Technical Research Centre of Finland LtdFinnországMegjelent 2026. aug. 06.
Határidő lejárt

Leírás

A tenderszerviz tárgya egy peremkezelő szórás-klasztereszköz (később "Eszköz" néven is). Az Eszköz egy 200 mm-es waferre alkalmas szórás-klasztereszköz, waferperem-kezelő képességgel a VTT Micronova tisztaszobában, félvezető előlapi részében. A beszerzés tartalmaz egy leülepedési kamrát négy magnetron szórási forrásokkal. A waferek szállításakor és feldolgozásakor mechanikailag csak a waferperem érinti, és a folyamatok között vakuumban megfordíthatók. A tenderszerviz tárgyát és a technikai követelményeket részletesebben az ajánlatkérési dokumentumokban írják le.

CPV kódok

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Dokumentumok és benyújtás

AI összefoglaló
Jelentkezzen be egy AI összefoglalóhoz

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Kapcsolódó közbeszerzések