Franciaország – Elektromechanikai berendezések – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVESFranciaországMegjelent 2026. febr. 15.

Nincs határidő megadva

Leírás

A CEA Leti kutatási tevékenységei keretében, amelyek célja a 10 nm-es és azon túli FDSOI technológiák fejlesztése (FDSOI10), egy FEOL/MEOL gravírozó berendezést szeretne beszerelni szobacukrájába. A berendezés képes lesz 300 mm-es waferek kezelésére, és lehetővé teszi a szilícium (Si) és szilícium-germánium (SiGe) magas szelektivitású és izotropikus gravírozását. A kötelező válaszokkal járó opciók a következők:

- Opció 1: Process 7 (SiCO spacer gravírozása)

- Opció 2: Process 8 (spacer és SADP gravírozása)

- Opció 3: Niveau 1 karbantartási képzés

Szerintem, a következő opciók a kötelező válaszok:

- Opció 4: Hőcserélők (Heat exchangers) és hűtőrendszerek (chillers) (3.2.6. szakasz)

- Opció 5: Villamos transzformátor (Power supply transformer) (4.1.4. szakasz)

- Opció 6: Haladó karbantartási képzés (9. fejezet)

- Opció 7: Megelőző, javító karbantartási szolgáltatások és szükséges cserélhető alkatrészek (12.2. szakasz)

CPV kódok

Electromechanical equipmentMicroelectronic machinery and apparatus

Dokumentumok és benyújtás

Beszerzési dokumentumok Ajánlat benyújtása

AI összefoglaló

Jelentkezzen be egy AI összefoglalóhoz

Eredeti hirdetés megtekintése PDF formátumban

Kapcsolódó közbeszerzések

Továbbiak: Villamos gépek, készülékek, berendezések és fogyóeszközök; világítás Továbbiak: Franciaország Az ajánlatkérő összes eljárása

Franciaország – Elektromechanikai berendezések – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

Leírás

CPV kódok

Dokumentumok és benyújtás

Kapcsolódó közbeszerzések

Franciaország – Villamossági szerelési anyagok – Fourniture et livraison de matériel industriel d’automatisme, de protection et de commande moteur, de protection des circuits basse tension

Franciaország – Villamos gépek, készülékek, berendezések és fogyóeszközök; világítás – FOURNITURE, LIVRAISON, INSTALLATION, MISE EN SERVICE ET FORMATION A L’UTILISATION D’UNE MACHINE-OUTIL A COMMANDE NUMERIQUE, GARANTIE 24 MOIS

Franciaország – Tűzérzékelő berendezések – Maintenance préventive et corrective des systèmes de sécurité incendie (SSI), des équipements d’alarme (EA), de désenfumage et de lutte contre l’incendie sur les sites du Conseil départemental, du SESTA et du SDIS de l’Ariège

Franciaország – Légvezetéki villamos kábelek – FOURNITURE DES PIECES ET DES ACCESSOIRES POUR LES INFRASTRUCTURES DES LIGNES AERIENNES DE CONTACT DES TROLLEYBUS DU RESEAU DE TRANSPORT EN COMMUN DE LIMOGES METROPOLE (EN 2 LOTS)