Belgium – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Megjegyzés

A megbízó szándéka, hogy a THERMAGINE ERC-finanszírozott projekt keretében magas minőségű vékonyréteg lehelyező rendszert vásároljon az előrehaladott anyagkutatáshoz. A rendszer a mágneses fém- és oxid vékonyrétegek és nanométer méretű rétegsorok lehelyezésére és megmunkálására fog szolgálni. A berendezést elsősorban a mágneses (rétegsoros) vékonyrétegek és nyílások gyártására fogják használni a nanomágneses kutatáshoz. A rendszernek tehát magas fokú rugalmasságot, ismétlődhetőséget, folyamatstabilitást és automatikus működést kell biztosítania. A technikai részletekért lásd a III. rész Lot 2 Megjegyzés

A UGent tisztasági szobában történő kutatási tevékenységek megkönnyítéséhez új fizikai gőzfázisú lehelyezési (PVD) rendszer szükséges, amely képes legalább 100 mm-es aljzatok kezelésére. A PVD rendszert a fotonikai kutatási csoport (PRG) és a folyadékkristályok és fotonikai (LCP) kutatási csoport fogja közösen használni, hogy egy széles körű (leginkább) fém- vagy dielektrikum vékonyrétegeket helyezzen le. A megbízás része a szerszám indítása és telepítése, valamint egy gyorsabb minták betöltésére szolgáló load-lock és a felszerelő által végzett kiképzés. Egy 100 mm-es PVD vékonyréteg lehelyezési rendszer, e-gun elpárolgási és szórási forrásokkal, valamint egy load-lockkal. Lot 3 Megjegyzés

Lot 2 elsőéves fogyasztóanyagok. Lot 3 a Lot 2 alatt leírt PVD rendszerhez szükséges, és a UGent tisztasági szobában az első üzemeltetési évben használt fogyasztóanyagok egyidejű vásárlását foglalja magában. A felsorolásnak legalább aranyat, titánt a szórási célokra, aranyat és titánt az e-gun elpárolgáshoz kell tartalmaznia. Más, kisebb mennyiségben használt fogyasztóanyagok, például alumínium, nikkel, platina, alumínium-oxid, krom és hasonló anyagok, opcionális további cikkekként kínálhatók, de nem kötelezőek.