Vissza a kereséshez
Németország – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Ruhr-Universität BochumNémetországMegjelent 2026. aug. 12.
Nincs határidő megadvaLeírás
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
CPV kódok
Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
Dokumentumok és benyújtás
AI összefoglaló
Jelentkezzen be egy AI összefoglalóhozContains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.
Kapcsolódó közbeszerzések
Németország – Spektrométerek – Modernisierung des Bruker 400 MHz Avance II Spektrometersystems
Universität des Saarlandes - Dezernat Zentrale Beschaffung und DiensteNémetországSpectrometersHatáridő 32 nap múlvaMegjelent 2026. aug. 12.
Németország – Röntgensugár használatán alapuló ellenőrző berendezések – CT-Anlage
Bundesamt für Ausrüstung, Informationstechnik und Nutzung der BundeswehrNémetországX-ray inspection equipmentNincs határidő megadvaMegjelent 2026. aug. 12.
Németország – Biokémiai analizátorok – Isothermales Titrationskalorimeter (ITC)
Max-Planck-Institut für terrestrische MikrobiologieNémetországBiochemical analysersChemistry analyserHatáridő 29 nap múlvaMegjelent 2026. aug. 12.
Németország – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – Lieferung eines Aktiven Wasserstoffmaser gemäß Leistungsbschreibung // Delievery of an Active Hydrogen Maser in accordance with the specifications
Physikalisch - Technische Bundesanstalt BraunschweigNémetországLaboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)Határidő 28 nap múlvaMegjelent 2026. aug. 12.