Tartalomhoz ugrás
Vissza a kereséshez

Németország – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität BochumNémetországMegjelent 2026. aug. 12.
Nincs határidő megadva

Leírás

A Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm átmérőjűek számára alkalmazható. Ez a terület a szilícium alapú mikroelektromechanikus rendszerek (MEMS) területén, a mély aniszotropikus szilícium etetésre, a ciklikus etetési folyamat (DRIE, "BOSCH-folyamat") alapján alkalmazható, és továbbá az új etetési koncepciók kutatására szolgál, amelyek kevesebb klimaváltozást okozó etetési gázokat használnak.

CPV kódok

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Dokumentumok és benyújtás

AI összefoglaló
Jelentkezzen be egy AI összefoglalóhoz

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Kapcsolódó közbeszerzések