Franciaország – Mikroelektronikai gépek és berendezések – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

A kutatási tevékenységeihez a CEA-LETI egy berendezést szeretne beszerelni, egy félautomata kémiai munkaasztalt a III-V anyagok gravírozásához és tisztításához szilícium, indium-foszfid (InP) vagy gallium-arzenid (GaAs) lemezeken 100, 150, 200 és 300 mm átmérőjével a mikroelektronika számára. Ez a munkaasztal egy már létező munkaasztal helyett kerül a LETI tisztaszobájába. Ennek megfelelően a javasolt berendezésnek a következő méreteknek kell megfelelnie: o Hossz = 2500 mm o Mélység = 1700 mm o Magasság = 2100 mm

A szerződés tartalmazza az alábbi, opcionális, kötelező megjelöléssel ellátott opciókat*:

o Opció 1: Hőcserélők és hűtők (3.2.6. §);

o Opció 2: Tápláló transzformátorok (4.1.4. §);

o Opció 3: Első szintű karbantartási képzés (9. §);

o Opció 4: Haladó karbantartási képzés (9. §);

o Opció 5: Egy évvel meghosszabbított garancia (11.1. §);

o Opció 6: A H2SO4 vagy H2SO5 lefolyócső szelepének nyitását jelző száraz kapcsoló biztosítása (4.2.3. §);

o A szállítás, biztosításot is tartalmazó ára, DAP CEA Grenoble feltételei szerint (ICC 2020 Incoterms konvenció).