Németország – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

Szállítás "szabad felhasználási helyre", telepítés és üzembehelyezés egy Cz-kristálytermelési berendezésnek, amely a fluorid-egykristályok termelésére szolgál. Emellett: dokumentáció biztosítása, átvétel (gyári és végleges átvétel), szerviz zavar esetén. A rendszer lehetővé teszi a fluorid-egykristályok növekedését a hőolvadékból húzó eljárással (pl. Czochralski-eljárás). A rendszer kutatási környezetben kerül felhasználásra és gyakori felhasználói hozzáférés, egyszerű karbantartás, valamint magas folyamatstabilitást kell biztosítania. A rendszer 100 mm (4 hüvelyk) maximális átmérőjű és 5 kg tömegű kristályok előállítására képes. A tégla maximális belsejének átmérője kb. 200 mm-re becsülhető. A kristálytermelési folyamat egy vízhűtéses, elektropolírozott belső falú, nikkelbőrös kamrában történik, amely magasvakuumot biztosít. Argon és CF4 használatos folyamatgázként. A rendszernek bake-out funkcióval kell rendelkezni, azaz a kamrát >50 °C-ra melegítve <1×10-6 mbar magasvakuumra kell kiüríteni. A folyamat 1,05-1,1 bar (atmoszferikus nyomásnál kissé magasabb) nyomáson, statikus vagy áramló atmoszférában történik. Az alapanyag egy szénalapú tégla (grafit vagy üvegszén) benne van, amely a nikkelbőrös kamra központjában fűtött. A fűtés grafitszén-ellenálló fűtéssel történik, amely a tégla és az olvadék melegítését végzi. A kristályosodási folyamat egy impfkristály kezdeti, amely egy forgó és transzlációs mozgású platina tengelyen van rögzítve és az olvadékba merül. Az impfkristályt ezután lassan kiemelik az olvadékból forgatva, így egy térfogat-kristály keletkezik.