Portugália – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – STANDARD AND TECHNICAL SPECIFICATIONS TO GOVERN THE CONTRACT FOR THE SUPPLY AND INSTALLATION OF AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTIVE ION ETCHING (ICP-RIE) SYSTEM

A szerződés tárgya a következő, az INL-nek szállítandó és telepítendő tudományos berendezések és alkatrészek, amelyek a fenti Szabványos Szabványokhoz csatolt V. Mellékletben (a továbbiakban 'Szabványok' néven) felsorolva és részletezve vannak. A V. Mellékletben felsorolt berendezések azok a lotelek, amelyek a pályázat tárgyát képezik. A pályázók egy vagy több lotra tehetnek ajánlatot. A szerződés tárgya minden esetben a úgynevezett felújított tudományos műszereket és berendezéseket nem tartalmazza. A pályázat egyetlen lotja a következő: egy magas teljesítményű, induktívan kapcsolódó plazma reakciós ionfúvó (ICP-RIE) rendszerről van szó, amelyet mikro- és nanofabricationra szánnak.